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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 用半导体工艺制作硅微通道板 会议论文 中国厦门 端木庆铎; 田景全; 姜德龙; 李野; 卢耀华; 富丽晨 收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2013/03/19 硅  微通道板  刻蚀  打拿极   高纵横比微孔列阵的干刻工艺 期刊论文 长春光学精密机械学院学报, 1998, 期号: 04, 页码: 21-24 卢耀华; 李野; 端木庆铎; 姜德龙; 富丽晨; 田景全 收藏  |  浏览/下载：48/0  |  提交时间：2013/03/11 微孔列阵  干刻  纵横比  选择比