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Design of a Graphene Capacitive Pressure Sensor for Ultra-low Pressure Detection
其他
2016-01-01
Zhang, Yangxi
;
Gui, Yiming
;
Meng, Fanrui
;
Gao, Chengchen
;
Hao, Yilong
收藏
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2017/12/03
graphene
capacitive sensor
ultra-low pressure
Silicon Carbide Capacitive Pressure Sensors with arrayed sensing membranes
其他
2013-01-01
Meng, Bo
;
Tang, Wei
;
Peng, Xuhua
;
Zhang, Haixia
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/13
silicon carbide
pressure sensor
arrayed sensing membranes
PDMS packaging
HARSH ENVIRONMENTS
MEMS
Study of high-temperature MEMS pressure sensor based on SiC-AlN structure
其他
2013-01-01
Lv, Hao Jie
;
Geng, Tao
;
Hu, Guo Qing
;
胡国清
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2015/07/22
Nanotechnology
Pressure sensors
An optimized fabrication of high yield CMOS-compatible silicon carbide capacitive pressure sensors
其他
2012-01-01
Meng, B.
;
Tang, W.
;
Wang, Z.R.
;
Zhang, H.X.
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2015/11/13
A study of temperature dependence for capacitive pressure sensor
其他
2012-01-01
Lv, Hao Jie
;
Hu, Guo Qing
;
Wang, Xing Ye
;
胡国清
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2015/07/22
Capacitance
Finite element method
Partial pressure sensors
Pressure sensors
Structural design
A continuous-time voltage readout for SiC micromechanical capacitive pressure sensor
其他
2010-01-01
Zheng, Baixiang
;
Tang, Wei
;
Che, Zhe
;
Zhang, Haixia
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2015/11/13
Study of Polyimide as Sacrificial Layer with O(2) Plasma Releasing for Its Application in MEMS Capacitive FPA Fabrication
其他
2009-01-01
Ma, Shenglin
;
Li, Ying
;
Sun, Xin
;
Yu, Xiaomei
;
Jin, Yufeng
收藏
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2015/11/16
PRESSURE SENSOR
FABRICATION OF SiC MEMS PRESSURE SENSOR BY ANODIC BONDING
其他
2008-01-01
Tang, Wei
;
Chen, Zhe
;
Tian, Dayu
;
Zhang, Haixia
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2015/11/13
Capacitive pressure sensor
SiC
anodic bonding
melting bonding
bulk micromachining
surface micromachining
CMOS process
A surface micro machined double sided touch mode capacitive pressure sensor
其他
2001-01-01
Xu, GP
;
Chen, GW
;
Hu, GQ
;
胡国清
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2015/07/22
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