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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 硅微静电加速度计的支承刚度特性 期刊论文 2016, 2016 韩丰田; 吴秋平; 孙搏谦; 张汉蒸; 马高印; HAN Feng-tian; WU Qiu-ping; SUN Bo-qian; ZHANG Han-zheng; MA Gao-yin 收藏  |  浏览/下载：4/0 三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装 期刊论文 半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814 蔡梅妮; 车录锋; 林友玲; 周晓峰; 黎晓林; 吴健 收藏  |  浏览/下载：58/0  |  提交时间：2013/02/22 三明治式MEMS加速度计  自停止腐蚀工艺  吸气剂  品质因子  器件级真空封装   基于Verilog-A的电容式MEMS加速度计模型 期刊论文 传感技术学报, 2008, 期号: 06 赵楷; 熊斌; 车录锋 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/01/06 小波阈值去噪  阈值函数  雷达信号   “8悬臂梁-质量块”结构的新型微加速度计研究 学位论文 硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2007 王育才 收藏  |  浏览/下载：58/0  |  提交时间：2012/03/06 微加速度计  8悬臂梁-质量块  微机械加工  各向异性腐蚀