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一种光束MEMS快速调控系统 专利
专利号: CN201810128468.7, 申请日期: 2018-12-21, 公开日期: 2018-06-15
作者:  李明;  姜澜;  李珣
收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2018/12/29
一种CPT原子钟光路结构 专利
专利号: CN106647225B, 申请日期: 2018-12-18, 公开日期: 2018-12-18
作者:  廉吉庆;  陈大勇;  涂建辉;  张金海;  陈溶波
收藏  |  浏览/下载:27/0  |  提交时间:2019/12/24
MEMS steering mirrors for applications in photonic integrated circuits 专利
专利号: EP3410166A1, 申请日期: 2018-12-05, 公开日期: 2018-12-05
作者:  YASUMURA, KEVIN Y.;  VERSLEGERS, LIEVEN;  BERGER, JILL D.
收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2019/12/30
An acceleration feed-forward control method based on fusion of model output and sensor data 期刊论文
SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2018, 卷号: 284, 页码: 186-193
作者:  He, Qiunong;  Luo, Yong;  Mao, Yao;  Zhou, Xi
收藏  |  浏览/下载:42/0  |  提交时间:2019/08/23
非晶合金热塑性微成型技术研究概况及发展趋势 期刊论文
功能材料, 2018, 卷号: 49, 期号: 2018年11期, 页码: 11033-11040
作者:  李春燕;  朱福平;  丁娟强;  尹金锋;  赵燕春
收藏  |  浏览/下载:0/0  |  提交时间:2019/11/13
面向动作捕捉和定位的视觉惯性融合技术研究 学位论文
沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2018
作者:  张吟龙
收藏  |  浏览/下载:127/0  |  提交时间:2018/12/16
一种低应力微机电系统、制备方法及可调谐垂直腔面发射激光器 专利
专利号: CN108879327A, 申请日期: 2018-11-23, 公开日期: 2018-11-23
作者:  邹永刚;  裴丽娜;  李岩;  石琳琳;  金亮
收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2019/12/30
Magnetic-field-driven ultra-small 3D hydrogel microstructures: Preparation of gel photoresist and two-photon polymerization microfabrication 期刊论文
SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 2018, 卷号: 274, 页码: 541-550
作者:  Xiong, Zhong;  Zheng, Chenglin;  Jin, Feng;  Wei, Rongmei;  Zhao, Yuanyuan
收藏  |  浏览/下载:32/0  |  提交时间:2018/11/01
Research on ion implantation in MEMS device fabrication by theory, simulation and experiments 期刊论文
INTERNATIONAL JOURNAL OF MODERN PHYSICS B, 2018
作者:  Minyu Bai;  Lei Wang;  Guodong Zhang;  Lingjian Zhu;  Binbin Jiao
收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2019/05/05
集成纳米结构的MEMS红外光源及其制备方法 专利
专利号: CN201610798788.4, 申请日期: 2018-10-09, 公开日期: 2017-02-01
作者:  王玮冰;  李超波;  陈大鹏;  明安杰;  刘卫兵
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