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| 纳微系统中表面效应的物理力学研究（3） 科普文章
2015
作者: 王柏懿
  收藏 | 浏览/下载：46/0 | 提交时间：2016/04/12 |
| 采用KOH溶液的硅基MEMS器件湿法释放方法 专利
专利号: CN201210062362.4, 申请日期: 2015-12-09, 公开日期: 2013-09-18
作者: 卢狄克; 李志刚; 刘瑞文; 陈大鹏; 尚海平
收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2016/06/17 |
| 射频MEMS滤波器的结构和关键技术研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
骆伟
收藏 | 浏览/下载：36/0 | 提交时间：2015/12/08 |
| Nano/micro-electro mechanical systems: a patent view 期刊论文
JOURNAL OF NANOPARTICLE RESEARCH, 2015, 卷号: 17, 期号: 12
作者: Hu, Guangyuan; Liu, Weishu
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2019/08/22
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| Efficient source mask optimization method for reduction of computational lithography cycles and enhancement of process-window predictability 期刊论文
J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS, 2015
作者: Wei YY(韦亚一); Guo MR(郭沫然); Song ZY(宋之洋)
收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2016/05/31 |
| 硅基平板声子晶体传感器高灵敏度 学位论文
硕士: 中国科学院大学, 2015
作者: 龙斌
收藏 | 浏览/下载：26/0 | 提交时间：2016/04/11
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| Precaution and early warning of surface failure of slopes using tilt sensors 期刊论文
SOILS AND FOUNDATIONS, 2015, 卷号: 55, 期号: 5, 页码: 1086-1099
作者: Uchimura, Taro; Towhata, Ikuo; Wang, Lin; Nishie, Shunsaku; Yamaguchi, Hiroshi
收藏 | 浏览/下载：65/0 | 提交时间：2015/12/21
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| Inverse Problems in the MEMS/NEMS Applications 图书章节
2015
作者: Zhang Y(张吟)
收藏 | 浏览/下载：19/0 | 提交时间：2018/11/06 |
| PM2.5检测装置及其制造方法 专利
专利号: CN201310400323.5, 申请日期: 2015-09-23, 公开日期: 2013-12-18
作者: 毛海央; 谌灼杰; 欧文; 吴文刚
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2016/06/17 |
| 磁性液体薄膜微形变的磁控研究 期刊论文
2015, 2015
刘同冈; 郭岩; 邹学壮; 吴健
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2017/06/15
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