基于化学发光法的高纯气体中ppb量级NO_x浓度测量

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	基于化学发光法的高纯气体中ppb量级NO_x浓度测量
	张猛 ; 彭志敏 ; 杨乾锁 ; 丁艳军 ; 杜艳君
刊名	物理学报
	2022-03-28
卷号	71 期号:13 页码:374-382
关键词	化学发光高纯气体痕量气体淬灭
英文摘要	高纯气体在半导体器件制作及燃料电池等行业应用广泛,但其杂质气体直接对加工精度及效果产生显著影响,因此对关键痕量杂质气体进行浓度诊断尤为必要.本文基于化学发光光谱理论和氮氧化物催化转化机理,设计了一套痕量NO/NO_x同步高精度测量系统,通过标定实验可知,该测量系统具有高线性度(R~2=0.99967)、高灵敏度、低检测下限(约25 ppt, 1 ppt=10~(–12))、易操作性等优势;同时,综合考虑不同背景气体对荧光、磷光的淬灭效应,建立不同高纯气体中NOx测量方法,并利用该探测系统对实验室常用4种高纯气体(Ar, O_2, CO_2,N_2)中ppb量级的氮氧化物进行测量,结果表示CO_2中的NO含量最高,约为9 ppb (1 ppb=10~(–9)),其他高纯气体中的NO含量较低,仅有0—4 ppb, 4种高纯气体的NO_2含量均较低(
语种	中文
资助机构	国家重点研发计划(批准号:2019YFB2006002) ; 华能集团总部科技项目‘基础能源科技研究专项’(批准号:HNKJ20-H50)资助的课题~~
内容类型	期刊论文
源URL	[http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/89774]
专题	力学研究所_高温气体动力学国家重点实验室
作者单位	1.清华大学能源与动力工程系电力系统与发电设备控制与仿真国家重点实验室 2.中国科学院力学研究所流固耦合系统力学重点实验室 3.中国科学院大学工程科学学院 4.华北电力大学控制与计算机工程学院
推荐引用方式 GB/T 7714	张猛,彭志敏,杨乾锁,等. 基于化学发光法的高纯气体中ppb量级NO_x浓度测量[J]. 物理学报,2022,71(13):374-382.
APA	张猛,彭志敏,杨乾锁,丁艳军,&杜艳君.(2022).基于化学发光法的高纯气体中ppb量级NO_x浓度测量.物理学报,71(13),374-382.
MLA	张猛,et al."基于化学发光法的高纯气体中ppb量级NO_x浓度测量".物理学报 71.13(2022):374-382.