IH工艺在微机械中的应用

	IH工艺在微机械中的应用
	崔天宏 ; 王立鼎 ; 吕琼莹 ; 汪洪涛
刊名	光学精密工程
	1994-12-30
期号	06 页码:18-23
关键词	IH工艺微机械立体光刻
公开日期	2013-03-11
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30558]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	崔天宏,王立鼎,吕琼莹,等. IH工艺在微机械中的应用[J]. 光学精密工程,1994(06):18-23.
APA	崔天宏,王立鼎,吕琼莹,&汪洪涛.(1994).IH工艺在微机械中的应用.光学精密工程(06),18-23.
MLA	崔天宏,et al."IH工艺在微机械中的应用".光学精密工程 .06(1994):18-23.