纳米X－Y工作台固有频率特性的研究

	纳米X－Y工作台固有频率特性的研究
	吴一辉 ; 杨洪波
刊名	光学精密工程
	1995-12-30
期号	06 页码:50-54
关键词	纳米定位 x—y工作台固有频率特性
公开日期	2013-03-11
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30412]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	吴一辉,杨洪波. 纳米X－Y工作台固有频率特性的研究[J]. 光学精密工程,1995(06):50-54.
APA	吴一辉,&杨洪波.(1995).纳米X－Y工作台固有频率特性的研究.光学精密工程(06),50-54.
MLA	吴一辉,et al."纳米X－Y工作台固有频率特性的研究".光学精密工程 .06(1995):50-54.