双极型D触发器成品率试验报告

	双极型D触发器成品率试验报告
	李思渊; 何山虎; 陈次珀; 赵全喜; 强小凤
刊名	半导体技术
	1978-10-28
期号	5 页码:20-30
关键词	成品率:6186 管芯:3683 压焊:2870 D触发器:2692 钻蚀:2586 氧化层:2446 铝层:2263 双极型:2246 芯片:2233 结特性:2198
其他题名	双极型D触发器成品率试验报告
中文摘要	D触发器用途广泛,需求量很大,因此如何提高其成品率就成为一个重要的课题。从现有工艺实际出发,我们对提高双极型D触发器成品率采取了若干工艺措施,取得了一定成效。关于前道芯片成品率方面的工作我们已作过系统地讨论,这里作些补充叙述,而以较大篇幅进一步讨论光刻质量方面的若干工艺细节,同时还着重介绍提高封装成品率方面的工艺措施。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/101619]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	李思渊,何山虎,陈次珀,等. 双极型D触发器成品率试验报告[J]. 半导体技术,1978(5):20-30.
APA	李思渊,何山虎,陈次珀,赵全喜,&强小凤.(1978).双极型D触发器成品率试验报告.半导体技术(5),20-30.
MLA	李思渊,et al."双极型D触发器成品率试验报告".半导体技术 .5(1978):20-30.